Phạm Thanh Bình
Writer
Ngày 27/5, truyền hình trung ương Trung Quốc (CCTV) bất ngờ công bố hình ảnh cận cảnh một trong những thiết bị công nghệ phức tạp và đắt đỏ nhất thế giới – máy in thạch bản EUV khẩu độ số cao (High-NA EUV), với giá trị ước tính lên tới 400 triệu USD, nặng 180 tấn, cần đến bảy chiếc Boeing 747 để vận chuyển. Hình ảnh này lập tức gây xôn xao dư luận quốc tế: Liệu Trung Quốc đã tự chế tạo được máy in thạch bản tiên tiến nhất thế giới?
Việc CCTV công bố hình ảnh thiết bị không có nghĩa là Trung Quốc đã sở hữu hay chế tạo được công nghệ này. Đây có thể là một mô hình trình diễn, một thiết bị đang nghiên cứu, hoặc đơn giản là một tín hiệu truyền thông thể hiện quyết tâm không bỏ cuộc trong cuộc đua bán dẫn toàn cầu.
Tuy nhiên, họ đã đạt được một số bước tiến đáng kể thời gian gần đây: Hãng Thiết bị vi điện tử Thượng Hải (SMEE) đã chế tạo được máy DUV in được chip ở mức 90nm, bắt đầu được sử dụng trong sản xuất chip nguồn điện và chip analog; Công ty Jingrui đã phát triển chất cản quang (photoresist) cho tiến trình 7nm – thành phần quan trọng giúp khắc mạch chính xác hơn.
Những tiến bộ này cho thấy Trung Quốc đang thu hẹp khoảng cách, dù vẫn còn rất xa so với đỉnh cao công nghệ EUV.
Trước áp lực bị "ngăn cửa", Trung Quốc buộc phải đẩy mạnh tự lực. CCTV lựa chọn thời điểm này để công bố hình ảnh máy in tối tân, ngoài mục đích tuyên truyền, có thể được xem là lời khẳng định rằng Trung Quốc không từ bỏ tham vọng công nghệ, bất chấp các rào cản bên ngoài.
Trung Quốc chưa thể chế tạo máy in EUV, nhưng đã đạt tiến bộ rõ rệt ở các thiết bị DUV. Việc làm chủ toàn bộ chuỗi sản xuất chip tiên tiến là mục tiêu dài hạn, đòi hỏi hàng chục năm đầu tư không ngừng.
Cũng như nhiều cuộc đua công nghệ trong quá khứ, vượt lên ở khúc cua là điều từng xảy ra. Trung Quốc vẫn còn cơ hội, nhất là nếu tiếp tục duy trì tốc độ R&D và tận dụng quy mô thị trường nội địa khổng lồ.
Không phải “của nhà làm ra”
Câu trả lời là không. Chiếc máy xuất hiện trong phóng sự của CCTV nhiều khả năng là thiết bị do hãng ASML (Hà Lan) chế tạo, hiện là công ty duy nhất trên thế giới có thể sản xuất loại máy in thạch bản EUV khẩu độ cao này. Các thiết bị này đang được đánh giá, thử nghiệm hoặc sử dụng bởi ba tên tuổi lớn trong ngành chip gồm Intel (Mỹ), TSMC (Đài Loan) và Samsung (Hàn Quốc). Trung Quốc hiện không nằm trong danh sách quốc gia được tiếp cận dòng thiết bị này do bị các nước phương Tây hạn chế chuyển giao công nghệ.Việc CCTV công bố hình ảnh thiết bị không có nghĩa là Trung Quốc đã sở hữu hay chế tạo được công nghệ này. Đây có thể là một mô hình trình diễn, một thiết bị đang nghiên cứu, hoặc đơn giản là một tín hiệu truyền thông thể hiện quyết tâm không bỏ cuộc trong cuộc đua bán dẫn toàn cầu.
Vì sao máy in thạch bản lại quan trọng?
Máy in thạch bản chính là “con mắt của con chip” – thiết bị dùng ánh sáng cực tím để khắc từng lớp mạch điện siêu nhỏ lên tấm silicon, tạo ra chip bán dẫn. Đặc biệt, dòng máy EUV sử dụng ánh sáng có bước sóng cực ngắn (~13,5 nm), cho phép sản xuất chip với độ chính xác ở cấp độ nanomet – nền tảng của các vi xử lý 3nm, 5nm, phục vụ AI, siêu máy tính, công nghệ quân sự, v.v.Để đạt được độ chính xác cực cao này, các nhà khoa học đã phát triển công nghệ cực tím (EUV), sử dụng ánh sáng có bước sóng chỉ 1 nanomet để "chiếu". Ánh sáng này được hàn bằng hàng chục nghìn bức ảnh laser mỗi giây, và vì ánh sáng này thậm chí có thể hấp thụ không khí, toàn bộ quá trình phải được thực hiện trong môi trường chân không.
Sở dĩ ASML trở thành người dẫn đầu tuyệt đối vì ngoài năng lực thiết kế, họ còn phụ thuộc vào hàng trăm nhà cung cấp đến từ Mỹ, Nhật, Đức... Trong đó, riêng nguồn phát tia EUV – hệ thống laser công suất cao – đến từ một công ty Mỹ tên là Cymer.Trung Quốc đang đứng ở đâu?
Do bị Mỹ và đồng minh cấm vận, Trung Quốc hiện không thể mua được các máy in EUV. Tuy nhiên, nước này đang tự phát triển máy in DUV (Deep Ultraviolet Lithography) – thế hệ cũ hơn, dùng trong sản xuất chip từ 28nm trở lên.Tuy nhiên, họ đã đạt được một số bước tiến đáng kể thời gian gần đây: Hãng Thiết bị vi điện tử Thượng Hải (SMEE) đã chế tạo được máy DUV in được chip ở mức 90nm, bắt đầu được sử dụng trong sản xuất chip nguồn điện và chip analog; Công ty Jingrui đã phát triển chất cản quang (photoresist) cho tiến trình 7nm – thành phần quan trọng giúp khắc mạch chính xác hơn.
Những tiến bộ này cho thấy Trung Quốc đang thu hẹp khoảng cách, dù vẫn còn rất xa so với đỉnh cao công nghệ EUV.
Cuộc chơi không chỉ là kỹ thuật
Máy in thạch bản không chỉ là thiết bị kỹ thuật, mà còn là biểu tượng của cuộc cạnh tranh công nghệ toàn cầu. Mỹ từ lâu đã gây sức ép buộc Hà Lan không bán máy EUV cho Trung Quốc. Động thái này làm chậm tiến trình phát triển chip tiên tiến ở Trung Quốc, nhưng cũng khiến ngành bán dẫn thế giới bị xáo trộn, thậm chí ảnh hưởng đến cổ phiếu của chính ASML.Trước áp lực bị "ngăn cửa", Trung Quốc buộc phải đẩy mạnh tự lực. CCTV lựa chọn thời điểm này để công bố hình ảnh máy in tối tân, ngoài mục đích tuyên truyền, có thể được xem là lời khẳng định rằng Trung Quốc không từ bỏ tham vọng công nghệ, bất chấp các rào cản bên ngoài.
Trung Quốc chưa thể chế tạo máy in EUV, nhưng đã đạt tiến bộ rõ rệt ở các thiết bị DUV. Việc làm chủ toàn bộ chuỗi sản xuất chip tiên tiến là mục tiêu dài hạn, đòi hỏi hàng chục năm đầu tư không ngừng.
Cũng như nhiều cuộc đua công nghệ trong quá khứ, vượt lên ở khúc cua là điều từng xảy ra. Trung Quốc vẫn còn cơ hội, nhất là nếu tiếp tục duy trì tốc độ R&D và tận dụng quy mô thị trường nội địa khổng lồ.
