EUV High-NA là công nghệ in thạch bản được cho là có thể mở rộng quy trình sản xuất logic tiên tiến xuống 2nm và 1nm. Tuy nhiên, chi phí in thạch bản với EUV High-NA cao hơn đáng kể so với EUV Low-NA, ngay cả khi sử dụng mô hình kép.
Điều này là do EUV High-NA yêu cầu liều lượng cao hơn, dẫn đến...