Trong quy trình sản xuất bán dẫn phức tạp, có một bước quan trọng là phủ lớp màng oxit trên tấm wafer silicon một loại hóa chất đặc biệt gọi là "photoresist" (chất cản quang). Sau đó, người ta chiếu ánh sáng qua tấm mặt nạ (mask) chứa bản vẽ mạch điện lên bề mặt này. Những phần photoresist tiếp...