điểm nghẽn của công nghệ in thạch bản euv

Công nghệ in thạch bản EUV là nền tảng then chốt của sản xuất bán dẫn tiên tiến hiện nay. Tuy nhiên, đi cùng với việc EUV đã được thương mại hóa và triển khai rộng rãi trong hơn một thập kỷ, vẫn tồn tại một nút thắt kỹ thuật quan trọng chưa được giải quyết triệt để: lớp màng bảo vệ, còn gọi là...