có mấy loại máy quang khắc?

Máy quang khắc, còn gọi là wafer stepper hoặc photolithographic tool, là “trái tim” của quá trình sản xuất mạch tích hợp IC. Thiết bị này đảm nhiệm công đoạn quang khắc, tức là tạo ra hàng triệu, thậm chí hàng chục tỷ chi tiết mạch siêu nhỏ trên bề mặt tấm silicon wafer. Chính từ những wafer...